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SOI技术在MOS存储器件上的运用

SOI技术在MOS存储器件上的运用

小小学徒
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1975
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SOI技术在MOS存储器件上的运用,从材料、器件、工艺和电路角度系统地介绍SOI CMOS技术。从SOI材料的主要制备技术以及表征技术开始,详细分析和阐述SOI MOS器件的主要基本特性。
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